Investigations on doped μc-Si and applications to sensors 微結晶化アモルファスSi薄膜の物性とセンサへの応用に関する研究

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著者

    • 西田, 彰志 ニシダ, ショウジ

書誌事項

タイトル

Investigations on doped μc-Si and applications to sensors

タイトル別名

微結晶化アモルファスSi薄膜の物性とセンサへの応用に関する研究

著者名

西田, 彰志

著者別名

ニシダ, ショウジ

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第1731号

学位授与年月日

1986-03-26

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000005701
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000005701
  • NDL書誌ID
    • 000000170015
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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