アルカリ土類金属弗化物を用いた化合物半導体SOI構造のヘテロエピタキシーに関する研究

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著者

    • 筒井, 一生 ツツイ, カズオ

書誌事項

タイトル

アルカリ土類金属弗化物を用いた化合物半導体SOI構造のヘテロエピタキシーに関する研究

著者名

筒井, 一生

著者別名

ツツイ, カズオ

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第1753号

学位授与年月日

1986-03-26

注記・抄録

博士論文

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000005723
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000005723
  • NDL書誌ID
    • 000000170037
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
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