アルカリ土類金属弗化物を用いた化合物半導体SOI構造のヘテロエピタキシーに関する研究

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Author

    • 筒井, 一生 ツツイ, カズオ

Bibliographic Information

Title

アルカリ土類金属弗化物を用いた化合物半導体SOI構造のヘテロエピタキシーに関する研究

Author

筒井, 一生

Author(Another name)

ツツイ, カズオ

University

東京工業大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

甲第1753号

Degree year

1986-03-26

Note and Description

博士論文

identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:99001154

1access

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000005723
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000005723
  • NDLBibID
    • 000000170037
  • Source
    • Institutional Repository
    • NDL ONLINE
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