アルカリ土類金属弗化物を用いたヘテロエピタキシャルSOI構造の形成に関する研究

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著者

    • 浅野, 種正 アサノ, タネマサ

書誌事項

タイトル

アルカリ土類金属弗化物を用いたヘテロエピタキシャルSOI構造の形成に関する研究

著者名

浅野, 種正

著者別名

アサノ, タネマサ

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第1456号

学位授与年月日

1985-05-31

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000005743
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000005743
  • NDL書誌ID
    • 000000170057
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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