分子線・イオン線を用いた半導体薄膜の成長とその評価

この論文をさがす

著者

    • 清水, 三郎 シミズ, サブロウ

書誌事項

タイトル

分子線・イオン線を用いた半導体薄膜の成長とその評価

著者名

清水, 三郎

著者別名

シミズ, サブロウ

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第1545号

学位授与年月日

1986-03-31

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000005832
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000005832
  • NDL書誌ID
    • 000000170146
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
ページトップへ