高融点金属シリサイドのLSIへの応用に関する研究

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著者

    • 井上, 信市 イノウエ, シンイチ

書誌事項

タイトル

高融点金属シリサイドのLSIへの応用に関する研究

著者名

井上, 信市

著者別名

イノウエ, シンイチ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第3940号

学位授与年月日

1986-07-03

注記・抄録

博士論文

07393

博士(工学)

1986-07-03

大阪大学

14401乙第03940号

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000006787
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000006787
  • NDL書誌ID
    • 000000171101
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
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