高融点金属シリサイドのLSIへの応用に関する研究
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Author
Bibliographic Information
- Title
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高融点金属シリサイドのLSIへの応用に関する研究
- Author
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井上, 信市
- Author(Another name)
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イノウエ, シンイチ
- University
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大阪大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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乙第3940号
- Degree year
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1986-07-03
Note and Description
博士論文
