シリコン半導体素子用金系電極メタライゼーションの研究

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著者

    • 金森, 周一 カナモリ, シュウイチ

書誌事項

タイトル

シリコン半導体素子用金系電極メタライゼーションの研究

著者名

金森, 周一

著者別名

カナモリ, シュウイチ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第3941号

学位授与年月日

1986-07-03

注記・抄録

博士論文

07394

博士(工学)

1986-07-03

大阪大学

14401第12345号

2アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000006788
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000006788
  • NDL書誌ID
    • 000000171102
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
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