集積回路製造プロセスシミュレーション技術に関する研究 シュウセキ カイロ セイゾウ プロセス シミュレーション ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ

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著者

    • 谷口, 研二 タニグチ, ケンジ

書誌事項

タイトル

集積回路製造プロセスシミュレーション技術に関する研究

タイトル別名

シュウセキ カイロ セイゾウ プロセス シミュレーション ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ

著者名

谷口, 研二

著者別名

タニグチ, ケンジ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第3947号

学位授与年月日

1986-07-03

注記・抄録

博士論文

07400

博士(工学)

1986-07-03

大阪大学

14401乙第03947号

2アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000006794
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000006794
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000171108
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
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