塩素含有芳香族ポリマーを用いる微細加工用ネガ形レジスト材料に関する研究

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著者

    • 今村, 三郎 イマムラ, サブロウ

書誌事項

タイトル

塩素含有芳香族ポリマーを用いる微細加工用ネガ形レジスト材料に関する研究

著者名

今村, 三郎

著者別名

イマムラ, サブロウ

学位授与大学

九州大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第3796号

学位授与年月日

1986-09-24

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000006953
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000006953
  • NDL書誌ID
    • 000000171267
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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