塩素含有芳香族ポリマーを用いる微細加工用ネガ形レジスト材料に関する研究
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Author
Bibliographic Information
- Title
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塩素含有芳香族ポリマーを用いる微細加工用ネガ形レジスト材料に関する研究
- Author
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今村, 三郎
- Author(Another name)
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イマムラ, サブロウ
- University
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九州大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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乙第3796号
- Degree year
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1986-09-24
Note and Description
博士論文