集積回路装置における絶縁薄膜の特性とその応用に関する研究

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著者

    • 浜野, 邦幸 ハマノ, クニユキ

書誌事項

タイトル

集積回路装置における絶縁薄膜の特性とその応用に関する研究

著者名

浜野, 邦幸

著者別名

ハマノ, クニユキ

学位授与大学

北海道大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第3132号

学位授与年月日

1986-12-25

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000008006
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000008006
  • NDL書誌ID
    • 000000172320
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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