集積回路装置における絶縁薄膜の特性とその応用に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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集積回路装置における絶縁薄膜の特性とその応用に関する研究
- 著者名
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浜野, 邦幸
- 著者別名
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ハマノ, クニユキ
- 学位授与大学
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北海道大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第3132号
- 学位授与年月日
-
1986-12-25
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (3コマ目)
集積回路装置における絶縁薄膜の特性とその応用に関する研究
浜野, 邦幸
ハマノ, クニユキ
北海道大学
工学博士
乙第3132号
1986-12-25
博士論文
