ノボラック系レジストの軟X線リソグラフィに関する研究 ノボラック ケイ レジスト ノ ナンXセン リソグラフィ ニ カンスル ケンキュウ
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著者
書誌事項
- タイトル
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ノボラック系レジストの軟X線リソグラフィに関する研究
- タイトル別名
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ノボラック ケイ レジスト ノ ナンXセン リソグラフィ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者名
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持地, 広造
- 著者別名
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モチジ, コウゾウ
- 学位授与大学
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大阪大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第4034号
- 学位授与年月日
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1986-12-17
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (3コマ目)
