ゲッタリングによるシリコン基板の高品質化に関する研究

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著者

    • 活田, 健治 イクタ, ケンジ

書誌事項

タイトル

ゲッタリングによるシリコン基板の高品質化に関する研究

著者名

活田, 健治

著者別名

イクタ, ケンジ

学位授与大学

九州大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第3840号

学位授与年月日

1986-12-02

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000009861
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000009865
  • NDL書誌ID
    • 000000174175
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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