ゲッタリングによるシリコン基板の高品質化に関する研究

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Author

    • 活田, 健治 イクタ, ケンジ

Bibliographic Information

Title

ゲッタリングによるシリコン基板の高品質化に関する研究

Author

活田, 健治

Author(Another name)

イクタ, ケンジ

University

九州大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

乙第3840号

Degree year

1986-12-02

Note and Description

博士論文

Table of Contents

  1. 目次 (4コマ目)
0access

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000009861
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000009865
  • DOI(NDL)
  • NDLBibID
    • 000000174175
  • Source
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections

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