ZnO,AlN等のスパッタ膜作製における中性粒子束とその膜に及ぼす影響

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著者

    • 富永, 喜久雄 トミナガ, キクオ

書誌事項

タイトル

ZnO,AlN等のスパッタ膜作製における中性粒子束とその膜に及ぼす影響

著者名

富永, 喜久雄

著者別名

トミナガ, キクオ

学位授与大学

京都大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第5490号

学位授与年月日

1985-01-23

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000010408
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000010413
  • NDL書誌ID
    • 000000174722
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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