Study on sputtering processes in solid surface under ion bombardment 固体表面におけるイオン衝撃スパッタリング過程に関する研究

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著者

    • 姜, 煕載 カン, ヒチェ

書誌事項

タイトル

Study on sputtering processes in solid surface under ion bombardment

タイトル別名

固体表面におけるイオン衝撃スパッタリング過程に関する研究

著者名

姜, 煕載

著者別名

カン, ヒチェ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第3150号

学位授与年月日

1984-11-05

注記・抄録

博士論文

06642

博士(工学)

1984-11-05

大阪大学

14401甲第03150号

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000010453
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000010458
  • NDL書誌ID
    • 000000174767
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
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