半導体集積回路製造における電子ビーム露光技術の応用に関する研究

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著者

    • 渡壁, 弥一郎 ワタカベ, ヤイチロウ

書誌事項

タイトル

半導体集積回路製造における電子ビーム露光技術の応用に関する研究

著者名

渡壁, 弥一郎

著者別名

ワタカベ, ヤイチロウ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第3498号

学位授与年月日

1984-11-05

注記・抄録

博士論文

06648

博士(工学)

1984-11-05

大阪大学

14401乙第03498号

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000010500
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000010505
  • NDL書誌ID
    • 000000174814
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
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