β-タンタル薄膜コンデンサに関する研究
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Author
Bibliographic Information
- Title
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β-タンタル薄膜コンデンサに関する研究
- Author
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佐藤, 惠彦
- Author(Another name)
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サトウ, シゲヒコ
- University
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東北大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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乙第3847号
- Degree year
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1984-12-12
Note and Description
博士論文