A study on plasma polymerization : optimization of the conditions and evaluation of the plasma-polymerized films in an inductively coupled glow discharge system プラズマ重合の研究 : 誘導結合グロー放電系における放電条件の最適化とプラズマ重合膜の評価

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著者

    • 広津, 敏博 ヒロツ, トシヒロ

書誌事項

タイトル

A study on plasma polymerization : optimization of the conditions and evaluation of the plasma-polymerized films in an inductively coupled glow discharge system

タイトル別名

プラズマ重合の研究 : 誘導結合グロー放電系における放電条件の最適化とプラズマ重合膜の評価

著者名

広津, 敏博

著者別名

ヒロツ, トシヒロ

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第1353号

学位授与年月日

1984-05-31

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000011580
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000011587
  • NDL書誌ID
    • 000000175894
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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