A study on plasma polymerization : optimization of the conditions and evaluation of the plasma-polymerized films in an inductively coupled glow discharge system プラズマ重合の研究 : 誘導結合グロー放電系における放電条件の最適化とプラズマ重合膜の評価
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書誌事項
- タイトル
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A study on plasma polymerization : optimization of the conditions and evaluation of the plasma-polymerized films in an inductively coupled glow discharge system
- タイトル別名
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プラズマ重合の研究 : 誘導結合グロー放電系における放電条件の最適化とプラズマ重合膜の評価
- 著者名
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広津, 敏博
- 著者別名
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ヒロツ, トシヒロ
- 学位授与大学
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東京工業大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第1353号
- 学位授与年月日
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1984-05-31
注記・抄録
博士論文