p形シリコン拡散層におけるピエゾ抵抗効果の定量化と集積化圧力センサに関する研究

この論文をさがす

著者

    • 山田, 一二 ヤマダ, カズジ

書誌事項

タイトル

p形シリコン拡散層におけるピエゾ抵抗効果の定量化と集積化圧力センサに関する研究

著者名

山田, 一二

著者別名

ヤマダ, カズジ

学位授与大学

東北大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第4451号

学位授与年月日

1987-02-12

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000012452
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000012459
  • NDL書誌ID
    • 000000176766
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
ページトップへ