p形シリコン拡散層におけるピエゾ抵抗効果の定量化と集積化圧力センサに関する研究
この論文にアクセスする
この論文をさがす
著者
書誌事項
- タイトル
-
p形シリコン拡散層におけるピエゾ抵抗効果の定量化と集積化圧力センサに関する研究
- 著者名
-
山田, 一二
- 著者別名
-
ヤマダ, カズジ
- 学位授与大学
-
東北大学
- 取得学位
-
工学博士
- 学位授与番号
-
乙第4451号
- 学位授与年月日
-
1987-02-12
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (4コマ目)
p形シリコン拡散層におけるピエゾ抵抗効果の定量化と集積化圧力センサに関する研究
山田, 一二
ヤマダ, カズジ
東北大学
工学博士
乙第4451号
1987-02-12
博士論文