グロー放電法による水素化アモルファスシリコン薄膜の生成におけるバイアス効果に関する研究

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Author

    • 辺, 隆吉 ビョン, リュンギル

Bibliographic Information

Title

グロー放電法による水素化アモルファスシリコン薄膜の生成におけるバイアス効果に関する研究

Author

辺, 隆吉

Author(Another name)

ビョン, リュンギル

University

大阪市立大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

乙第1147号

Degree year

1987-03-24

Note and Description

博士論文

Table of Contents

  1. 目次 (4コマ目)
0access

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000012612
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000012619
  • DOI(NDL)
  • NDLBibID
    • 000000176926
  • Source
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections
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