グロー放電法による水素化アモルファスシリコン薄膜の生成におけるバイアス効果に関する研究
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Author
Bibliographic Information
- Title
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グロー放電法による水素化アモルファスシリコン薄膜の生成におけるバイアス効果に関する研究
- Author
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辺, 隆吉
- Author(Another name)
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ビョン, リュンギル
- University
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大阪市立大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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乙第1147号
- Degree year
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1987-03-24
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 (4コマ目)