反応性イオンプレーティング法による金属化合物膜の形成とその特性に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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反応性イオンプレーティング法による金属化合物膜の形成とその特性に関する研究
- 著者名
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松村, 義人
- 著者別名
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マツムラ, ヨシヒト
- 学位授与大学
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東海大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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甲第55号
- 学位授与年月日
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1985-03-25
注記・抄録
博士論文
反応性イオンプレーティング法による金属化合物膜の形成とその特性に関する研究
松村, 義人
マツムラ, ヨシヒト
東海大学
工学博士
甲第55号
1985-03-25
博士論文