反応性イオンプレーティング法による金属化合物膜の形成とその特性に関する研究

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著者

    • 松村, 義人 マツムラ, ヨシヒト

書誌事項

タイトル

反応性イオンプレーティング法による金属化合物膜の形成とその特性に関する研究

著者名

松村, 義人

著者別名

マツムラ, ヨシヒト

学位授与大学

東海大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第55号

学位授与年月日

1985-03-25

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000013108
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000013116
  • NDL書誌ID
    • 000000177422
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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