Laser metrology applied to super precision fabrication technology 超精密加工におけるレーザー応用計測に関する研究

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著者

    • Chitnis, Vijay Trimbak チトニス, ビジャイ トリンバック

書誌事項

タイトル

Laser metrology applied to super precision fabrication technology

タイトル別名

超精密加工におけるレーザー応用計測に関する研究

著者名

Chitnis, Vijay Trimbak

著者別名

チトニス, ビジャイ トリンバック

学位授与大学

名古屋大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第1742号

学位授与年月日

1985-03-25

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000013170
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000013178
  • NDL書誌ID
    • 000000177484
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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