ナノメートル電子線露光に関する研究

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著者

    • 佐本, 典彦 サモト, ノリヒコ

書誌事項

タイトル

ナノメートル電子線露光に関する研究

著者名

佐本, 典彦

著者別名

サモト, ノリヒコ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第3254号

学位授与年月日

1985-03-25

注記・抄録

博士論文

06864

博士(工学)

1985-03-25

大阪大学

14401甲第03254号

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000013551
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000013559
  • NDL書誌ID
    • 000000177865
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
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