電子部品の微細加工に関する研究

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著者

    • 小薮, 國夫 コヤブ, クニオ

書誌事項

タイトル

電子部品の微細加工に関する研究

著者名

小薮, 國夫

著者別名

コヤブ, クニオ

学位授与大学

北海道大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第3195号

学位授与年月日

1987-03-25

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000014767
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000014777
  • NDL書誌ID
    • 000000179081
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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