多結晶シリコン膜の電気伝導機構および熱処理効果の研究

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著者

    • 齋藤, 洋司 サイトウ, ヨウジ

書誌事項

タイトル

多結晶シリコン膜の電気伝導機構および熱処理効果の研究

著者名

齋藤, 洋司

著者別名

サイトウ, ヨウジ

学位授与大学

慶應義塾大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第842号

学位授与年月日

1987-03-31

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000014994
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000015004
  • NDL書誌ID
    • 000000179308
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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