Laser beam processing of polycrystalline silicon and silicides for LSI fabrication 集積回路技術における多結晶シリコン及びシリサイドのレーザアニールに関する研究

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Author

    • 柴田, 直 シバタ, タダシ

Bibliographic Information

Title

Laser beam processing of polycrystalline silicon and silicides for LSI fabrication

Other Title

集積回路技術における多結晶シリコン及びシリサイドのレーザアニールに関する研究

Author

柴田, 直

Author(Another name)

シバタ, タダシ

University

東京大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

乙第6998号

Degree year

1984-09-20

Note and Description

博士論文

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000018367
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000018389
  • NDLBibID
    • 000000182681
  • Source
    • NDL ONLINE

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