Surface analysis of electronic materials for high speed devices 高速素子用電子材料の表面分析
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著者
書誌事項
- タイトル
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Surface analysis of electronic materials for high speed devices
- タイトル別名
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高速素子用電子材料の表面分析
- 著者名
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尾嶋, 正治
- 著者別名
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オシマ, マサハル
- 学位授与大学
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東京大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第7001号
- 学位授与年月日
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1984-09-20
注記・抄録
博士論文