Semiconductor metallization by ion beams イオンビームによる半導体メタライゼーション

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著者

    • 猪川, 洋 イノカワ, ヒロシ

書誌事項

タイトル

Semiconductor metallization by ion beams

タイトル別名

イオンビームによる半導体メタライゼーション

著者名

猪川, 洋

著者別名

イノカワ, ヒロシ

学位授与大学

京都大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第3362号

学位授与年月日

1985-07-23

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000019699
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000019721
  • NDL書誌ID
    • 000000184013
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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