Semiconductor metallization by ion beams イオンビームによる半導体メタライゼーション

この論文にアクセスする

この論文をさがす

著者

    • 猪川, 洋 イノカワ, ヒロシ

書誌事項

タイトル

Semiconductor metallization by ion beams

タイトル別名

イオンビームによる半導体メタライゼーション

著者名

猪川, 洋

著者別名

イノカワ, ヒロシ

学位授与大学

京都大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第3362号

学位授与年月日

1985-07-23

注記・抄録

博士論文

3アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000019699
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000019721
  • DOI(JaLC)
  • 本文言語コード
    • eng
  • NDL書誌ID
    • 000000184013
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL ONLINE
ページトップへ