Semiconductor metallization by ion beams イオンビームによる半導体メタライゼーション

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Author

    • 猪川, 洋 イノカワ, ヒロシ

Bibliographic Information

Title

Semiconductor metallization by ion beams

Other Title

イオンビームによる半導体メタライゼーション

Author

猪川, 洋

Author(Another name)

イノカワ, ヒロシ

University

京都大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

甲第3362号

Degree year

1985-07-23

Note and Description

博士論文

3access

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Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000019699
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000019721
  • DOI(JaLC)
  • Text Lang
    • eng
  • NDLBibID
    • 000000184013
  • Source
    • Institutional Repository
    • NDL ONLINE

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