イオンビームを利用した薄膜成長に関する研究

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著者

    • 宮澤, 丈夫 ミヤザワ, タケオ

書誌事項

タイトル

イオンビームを利用した薄膜成長に関する研究

著者名

宮澤, 丈夫

著者別名

ミヤザワ, タケオ

学位授与大学

早稲田大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第665号

学位授与年月日

1985-03-08

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000021265
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000021290
  • NDL書誌ID
    • 000000185579
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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