Non-linear effects of molecular ion bombardment on sputtering yield 分子イオン衝撃によるスパッタ率の非線形効果

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著者

    • 唐島, 照介 カラシマ, ショウスケ

書誌事項

タイトル

Non-linear effects of molecular ion bombardment on sputtering yield

タイトル別名

分子イオン衝撃によるスパッタ率の非線形効果

著者名

唐島, 照介

著者別名

カラシマ, ショウスケ

学位授与大学

東京理科大学

取得学位

理学博士

学位授与番号

乙第189号

学位授与年月日

1984-07-23

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000022165
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000022192
  • NDL書誌ID
    • 000000186479
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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