微細加工用ポジ形電子線レジスト材料に関する研究

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著者

    • 原田, 勝征 ハラダ, カツヒロ

書誌事項

タイトル

微細加工用ポジ形電子線レジスト材料に関する研究

著者名

原田, 勝征

著者別名

ハラダ, カツヒロ

学位授与大学

九州大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第3382号

学位授与年月日

1985-01-25

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000023636
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000023664
  • NDL書誌ID
    • 000000187950
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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