薄膜の付着に及ぼす内部応力の効果

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著者

    • 松田, 七美男 マツダ, ナミオ

書誌事項

タイトル

薄膜の付着に及ぼす内部応力の効果

著者名

松田, 七美男

著者別名

マツダ, ナミオ

学位授与大学

東京大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第6888号

学位授与年月日

1986-02-13

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000024390
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000024422
  • NDL書誌ID
    • 000000188704
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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