酸素を含んだ多結晶シリコン(SIPOS)膜とそのデバイスへの応用に関する研究

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著者

    • 松下, 孟史 マツシタ, タケシ

書誌事項

タイトル

酸素を含んだ多結晶シリコン(SIPOS)膜とそのデバイスへの応用に関する研究

著者名

松下, 孟史

著者別名

マツシタ, タケシ

学位授与大学

東京大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第7328号

学位授与年月日

1985-05-16

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000027034
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000027079
  • NDL書誌ID
    • 000000191348
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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