階層的画像処理を用いたマスクパターン検査の自動化に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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階層的画像処理を用いたマスクパターン検査の自動化に関する研究
- 著者名
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後藤, 宣之
- 著者別名
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ゴトウ, ノブユキ
- 学位授与大学
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東京大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第7793号
- 学位授与年月日
-
1986-03-20
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (4コマ目)
階層的画像処理を用いたマスクパターン検査の自動化に関する研究
後藤, 宣之
ゴトウ, ノブユキ
東京大学
工学博士
乙第7793号
1986-03-20
博士論文