階層的画像処理を用いたマスクパターン検査の自動化に関する研究

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著者

    • 後藤, 宣之 ゴトウ, ノブユキ

書誌事項

タイトル

階層的画像処理を用いたマスクパターン検査の自動化に関する研究

著者名

後藤, 宣之

著者別名

ゴトウ, ノブユキ

学位授与大学

東京大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第7793号

学位授与年月日

1986-03-20

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000027499
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000027545
  • NDL書誌ID
    • 000000191813
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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