集積回路微細加工のための反応性スパッタエッチング技術の開発に関する研究

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著者

    • 黒木, 幸令 クロキ, ユキノリ

書誌事項

タイトル

集積回路微細加工のための反応性スパッタエッチング技術の開発に関する研究

著者名

黒木, 幸令

著者別名

クロキ, ユキノリ

学位授与大学

九州大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第3075号

学位授与年月日

1983-09-27

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000028962
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000029011
  • NDL書誌ID
    • 000000193276
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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