MOCVD法による化合物半導体の結晶成長過程

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著者

    • 佐藤, 理夫 サトウ, ミチオ

書誌事項

タイトル

MOCVD法による化合物半導体の結晶成長過程

著者名

佐藤, 理夫

著者別名

サトウ, ミチオ

学位授与大学

東京大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第7410号

学位授与年月日

1987-03-30

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000031216
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000031272
  • NDL書誌ID
    • 000000195530
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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