超高集積回路用低抵抗ゲート電極・配線に関する研究

この論文をさがす

著者

    • 山本, 直樹 ヤマモト, ナオキ

書誌事項

タイトル

超高集積回路用低抵抗ゲート電極・配線に関する研究

著者名

山本, 直樹

著者別名

ヤマモト, ナオキ

学位授与大学

東京大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第7984号

学位授与年月日

1986-09-18

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000031486
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000031542
  • NDL書誌ID
    • 000000195800
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
ページトップへ