Mechanism of silicon etching with microwave plasma マイクロ波プラズマによるシリコンエッチングの機構

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Author

    • 二宮, 健 ニノミヤ, ケン

Bibliographic Information

Title

Mechanism of silicon etching with microwave plasma

Other Title

マイクロ波プラズマによるシリコンエッチングの機構

Author

二宮, 健

Author(Another name)

ニノミヤ, ケン

University

東京大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

乙第8061号

Degree year

1986-11-13

Note and Description

博士論文

Table of Contents

  1. 目次 (4コマ目)
6access

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000031563
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000031619
  • DOI(NDL)
  • NDLBibID
    • 000000195877
  • Source
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections

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