Studies on the synthesis of radiation-sensitive polymers and their lithographic application 放射線感応性ポリマーの合成とリソグラフィー材料への応用に関する研究

この論文にアクセスする

この論文をさがす

著者

    • 名手, 和男 ナテ, カズオ

書誌事項

タイトル

Studies on the synthesis of radiation-sensitive polymers and their lithographic application

タイトル別名

放射線感応性ポリマーの合成とリソグラフィー材料への応用に関する研究

著者名

名手, 和男

著者別名

ナテ, カズオ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第4298号

学位授与年月日

1987-12-24

注記・抄録

博士論文

07933

博士(工学)

1987-12-24

大阪大学

14401第12345号

1アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000032735
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000032791
  • NDL書誌ID
    • 000000197049
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
ページトップへ