集束イオンビーム技術のマスクレス選択ドーピングプロセスへの応用に関する研究

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著者

    • 宮内, 榮三 ミヤウチ, エイゾウ

書誌事項

タイトル

集束イオンビーム技術のマスクレス選択ドーピングプロセスへの応用に関する研究

著者名

宮内, 榮三

著者別名

ミヤウチ, エイゾウ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第4408号

学位授与年月日

1988-03-17

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000032845
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000032901
  • NDL書誌ID
    • 000000197159
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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