Characterization and properties of amorphous Si: N and Si: N: H alloys 非晶質シリコン・窒素およびシリコン・窒素・水素系の評価とその性質

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著者

    • 佐々木, 吾朗 ササキ, ゴロウ

書誌事項

タイトル

Characterization and properties of amorphous Si: N and Si: N: H alloys

タイトル別名

非晶質シリコン・窒素およびシリコン・窒素・水素系の評価とその性質

著者名

佐々木, 吾朗

著者別名

ササキ, ゴロウ

学位授与大学

京都大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第3117号

学位授与年月日

1984-03-23

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000033223
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000033279
  • NDL書誌ID
    • 000000197537
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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