低温プラズマを利用した炭素膜の作製とその特性評価に関する研究

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著者

    • 皆川, 秀紀 ミナガワ, ヒデキ

書誌事項

タイトル

低温プラズマを利用した炭素膜の作製とその特性評価に関する研究

著者名

皆川, 秀紀

著者別名

ミナガワ, ヒデキ

学位授与大学

北海道大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第2490号

学位授与年月日

1988-03-25

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000033948
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000034008
  • NDL書誌ID
    • 000000198262
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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