結合型原子プローブ電界イオン顕微鏡の開発と極微小領域分析に関する研究 ケツゴウ ガタ ゲンシ プローブ デンカイ イオン ケンビキョウ ノ カイハツ ト ゴクビショウ リョウイキ ブンセキ ニ カンスル ケンキュウ

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著者

    • 村上, 健司 ムラカミ, ケンジ

書誌事項

タイトル

結合型原子プローブ電界イオン顕微鏡の開発と極微小領域分析に関する研究

タイトル別名

ケツゴウ ガタ ゲンシ プローブ デンカイ イオン ケンビキョウ ノ カイハツ ト ゴクビショウ リョウイキ ブンセキ ニ カンスル ケンキュウ

著者名

村上, 健司

著者別名

ムラカミ, ケンジ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第2996号

学位授与年月日

1983-11-26

注記・抄録

博士論文

06216

博士(工学)

1983-11-26

大阪大学

14401甲第02996号

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000034355
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000034415
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000198669
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
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