水素プラズマアニールによって水素化した熱分解アモルファスSiの特性とデバイスへの応用に関する研究
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Bibliographic Information
- Title
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水素プラズマアニールによって水素化した熱分解アモルファスSiの特性とデバイスへの応用に関する研究
- Author
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中下, 俊夫
- Author(Another name)
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ナカシタ, トシオ
- University
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広島大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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乙第1145号
- Degree year
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1983-12-15
Note and Description
博士論文
