ビームアニール応用を中心とするシリコン集積回路製造技術の研究

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著者

    • 柴田, 健二 シバタ, ケンジ

書誌事項

タイトル

ビームアニール応用を中心とするシリコン集積回路製造技術の研究

著者名

柴田, 健二

著者別名

シバタ, ケンジ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第3293号

学位授与年月日

1984-02-01

注記・抄録

博士論文

06297

博士(工学)

1984-02-01

大阪大学

14401第12345号

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000035064
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000035125
  • NDL書誌ID
    • 000000199378
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
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