プラズマCVD窒化シリコン薄膜のGaAs集積回路への応用に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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プラズマCVD窒化シリコン薄膜のGaAs集積回路への応用に関する研究
- 著者名
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石井, 康信
- 著者別名
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イシイ, ヤスノブ
- 学位授与大学
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大阪大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第3312号
- 学位授与年月日
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1984-02-27
注記・抄録
博士論文
プラズマCVD窒化シリコン薄膜のGaAs集積回路への応用に関する研究
石井, 康信
イシイ, ヤスノブ
大阪大学
工学博士
乙第3312号
1984-02-27
博士論文