高分解能電子顕微鏡によるSiCおよびSi[3]N[4]の構造欠陥と変形・破壊に関する研究

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Author

    • 佐々木, 元 ササキ, ゲン

Bibliographic Information

Title

高分解能電子顕微鏡によるSiCおよびSi[3]N[4]の構造欠陥と変形・破壊に関する研究

Author

佐々木, 元

Author(Another name)

ササキ, ゲン

University

東北大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

甲第3902号

Degree year

1988-03-25

Note and Description

博士論文

Table of Contents

  1. 目次 (6コマ目)
1access

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000035494
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000035555
  • DOI(NDL)
  • NDLBibID
    • 000000199808
  • Source
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections

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